Tindif bil-lejżer għall-industrija tas-semikondutturi
Nov 03, 2023
Hekk kif it-teknoloġija tas-semikondutturi tkompli tiċkien, apparati avvanzati ta 'ċirkwit integrat ttrasformaw minn strutturi planari għal strutturi tridimensjonali. Il-proċess tal-manifattura taċ-ċirkwit integrat qed isir aktar u aktar kumpless, ħafna drabi jeħtieġ mijiet jew saħansitra eluf ta 'passi tal-proċess. Għall-manifattura ta 'apparat semikonduttur avvanzat, wara kull proċess, se jkun hemm aktar jew inqas inkwinanti partikuli, residwi tal-metall jew residwi organiċi fuq il-wiċċ tal-wejfer tas-silikon. It-tnaqqis kontinwu tad-daqsijiet tal-karatteristiċi tal-apparat u l-kumplessità dejjem tikber tal-istrutturi tal-apparat tridimensjonali għamlu semikondutturi L-apparati huma dejjem aktar sensittivi għall-kontaminazzjoni tal-partikuli, il-konċentrazzjoni tal-impurità u l-kwantità.
Tressqu rekwiżiti ogħla għat-teknoloġija tat-tindif ta 'partiċelli kkontaminati fuq il-wiċċ tal-maskra tal-wejfers tas-silikon. Il-punt ewlieni huwa li tingħeleb il-forza ta 'assorbiment enormi bejn il-partiċelli kkontaminati u s-sottostrat. Fil-preżent, ħafna manifatturi tas-semikondutturi jużaw metodi ta 'tindif bl-aċidu. Il-ħasil u l-imsaħ manwali mhumiex biss ineffiċjenti iżda jipproduċu wkoll tniġġis sekondarju. Allura x'tip ta 'metodu ta' tindif bħalissa huwa aktar adattat għat-tindif ta 'prodotti semikondutturi? It-tindif bil-lejżer bħalissa huwa metodu aktar adattat. Meta l-lejżer jiskenja fuq, il-ħmieġ kollu fuq il-wiċċ tal-materjal se jitneħħa, u l-ħmieġ fil-lakuni jitneħħa. Jista 'jitneħħa faċilment, mhux se tobrox il-wiċċ tal-materjal, u mhux se jikkawża tniġġis sekondarju. Hija għażla sigura.

Barra minn hekk, hekk kif id-daqs tal-apparati taċ-ċirkwit integrat ikompli jonqos, it-telf tal-materjal u l-ħruxija tal-wiċċ matul il-proċess tat-tindif saru kwistjonijiet li jridu jingħataw attenzjoni. It-tneħħija tal-partiċelli mingħajr telf materjali u ħsara fil-mudell hija l-aktar rekwiżit bażiku. It-teknoloġija tat-tindif bil-lejżer għandha Kuntatt uniku, l-ebda effett termali, l-ebda ħsara fil-wiċċ lill-oġġett li jrid jitnaddaf, u l-ebda tniġġis sekondarju, li huma vantaġġi inkomparabbli ta 'metodi ta' tindif tradizzjonali. Huwa l-aħjar metodu ta 'tindif biex issolvi t-tniġġis ta' apparati semikondutturi.








